[发明专利]一种微机电系统麦克风及电子设备在审
| 申请号： | 202210343062.7 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116939454A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R7/06 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 吴秀娥 |
| 地址： | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开实施例公开了一种微机电系统麦克风及电子设备。该微机电系统麦克风包括衬底、振膜和背极板。振膜具有固定部和悬空部，背极板上形成有支撑结构，支撑结构将悬空部划分为内悬空区和外悬空区。本公开通过创造性地设置支撑结构，将振膜划分为内悬空区和外悬空区，以提高位于支撑结构内部的内悬空区的相对硬度，进而能够在保证产品频率带宽的同时增大振膜面积，降低噪音，提高信噪比，提高麦克风产品整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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