[发明专利]用于混合式键合的吸嘴结构

摘要

本发明提供了一种用于混合式键合的吸嘴结构，包括本体。本体开设复数第一通道，该复数第一通道沿着一预设图形间隔设置，贯穿本体的底面，并且提供第一负压及第二负压，其中，第二负压大于第一负压，底面为平面，该预设图形与该底面的形状相似，且中心相同。借此，本发明能够借由微弱的第一负压吸附晶粒且让本体保持原状，晶粒能够保持平坦，多根顶针能够轻易透过承载膜将晶粒升高，该多根顶针的相对位置无须考虑底面的曲率，降低制造顶推装置的困难度。此外，本发明能够借由较强的第二负压让本体变形且让晶粒弯曲，晶粒与晶粒放置区为中心接触，力道极小，不会损及晶粒，且无须安装弹性件，制造成本较低。