[发明专利]形成外延Al1-X在审

专利信息
申请号: 202210349824.4 申请日: 2022-04-02
公开(公告)号: CN115276581A 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 克雷格·莫伊;杰弗里·M·莱西奇 申请(专利权)人: 阿库斯蒂斯有限公司
主分类号: H03H3/02 分类号: H03H3/02;H03H9/17;H03H9/02
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 张德才
地址: 美国北卡罗来纳州亨特维*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 一种形成Al1‑xScxN膜的方法可以包括:在反应器腔室中将衬底加热至一个温度范围;向该反应器腔室提供包括Sc的前体;向该反应器腔室提供包括Mg、C和/或Fe的掺杂剂;以及在该温度范围内在该衬底上形成外延Al1‑xScxN膜,在该衬底上,该外延Al1‑xScxN膜包括浓度在约1×1017/cm3与约2×1020/cm3之间的范围内的该掺杂剂。
搜索关键词: 形成 外延 al base sub
【主权项】:
暂无信息
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