[发明专利]一种光栅端面耦合器及其设计方法在审
| 申请号： | 202210353554.4 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN116931170A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 谢臻达;张弛;田晓慧;祝世宁;许志城 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/30;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供一种光栅端面耦合器及其设计方法，所述光栅端面耦合器包括：埋氧层、铌酸锂层、光栅层和外包层，其中：所述埋氧层上键合设置所述铌酸锂层；所述铌酸锂层上沉积设置所述光栅层，所述铌酸锂层包括铌酸锂波导层和铌酸锂衬底层；所述光栅层包括光栅波导和输出波导；所述铌酸锂层和所述光栅层外侧镀有外包层。如此，仅需对光栅层的材料做大线宽长周期刻蚀，工艺成熟简单，可用于解决现有亚波长光栅倒锥型端面耦合器工艺复杂，导致生产成本过高的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 端面 耦合器 及其 设计 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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