[发明专利]一种具有弧形或斜面声腔的MEMS压电超声波换能器阵列在审
| 申请号： | 202210353624.6 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN114950924A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 刘子豪;张楠;李小进;周晓峰 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有弧形或斜面声腔的MEMS压电超声波换能器阵列，包括一个或数个换能器单元，每个所述换能器单元包括若干个设置于同一平面、且具有相同弧形或斜面声腔的MEMS压电超声波换能器，其结构为低阻硅片层、二氧化硅或氮化硅层、上电极金属层、压电薄膜层、下电极金属层、多晶硅层及具有弧形或斜面声腔的下衬底层，所述下衬底层的横截面为半圆形、拱形、三角形或多边形空腔面。所述弧形或斜面声腔使得MEMS压电超声波换能器产生的声波叠加传输，实现增强超声波换能器产生的声压强度。该换能器阵列能够增强MEMS超声波换能器产生的声压强度，提升MEMS压电超声波换能器能量转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 弧形 斜面 声腔 mems 压电 超声波 换能器 阵列 | ||
【主权项】：
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