[发明专利]一种晶棒的掺杂剂添加量的确定方法在审
| 申请号： | 202210355763.2 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN114717647A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 徐志群;汪奇;孙彬;殷小强;乔乐;张振忠 | 申请（专利权）人： | 广东高景太阳能科技有限公司;青海高景太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/04;C30B29/06;C30B29/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 牛丽霞 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种晶棒的掺杂剂添加量的确定方法，涉及半导体技术领域，能够提高晶棒的掺杂剂添加量的准确度，改善生成的晶棒的头部的电阻率的集中性。包括：根据预设的目标电阻率，确定首次投放的首次添加量；根据首次添加量、第一挥发量、第一分凝量和第一剩余量，确定第一目标添加量，第一挥发量是根据单晶炉的加热功率确定的，第一目标添加量为第二根晶棒开始等径时，第二根晶棒的电阻率达到目标电阻率时需要添加的量；根据第一目标添加量、第二挥发量、第二分凝量、第二剩余量和首根晶棒的电阻率，确定第二目标添加量，第二目标添加量为第三根晶棒开始等径时，第三根晶棒的电阻率达到目标电阻率时需要添加的量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 添加 确定 方法 | ||
【主权项】：
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