[发明专利]金属薄膜图形的制造方法在审
| 申请号： | 202210359999.3 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN116931378A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 季宇成;龚燕飞;陈朔;郭松;彭鑫林;冯刘昊东;王诗男 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/76;G03F1/80 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供一种金属薄膜图形的制造方法，包括：在基板表面沉积金属薄膜，在所述金属薄膜上面形成聚合物胶层，在所述聚合物胶层上面形成感光性光刻胶层；对所述感光性光刻胶进行曝光和显影，从而将所述感光性光刻胶图形化，形成第一刻蚀窗口，其中，在使用显影剂对所述感光性光刻胶进行显影时，从所述第一刻蚀窗口中露出的所述聚合物胶层被所述显影剂腐蚀以形成第二刻蚀窗口；以及对从所述第二刻蚀窗口暴露的所述金属薄膜进行刻蚀，以形成金属薄膜图形。根据本申请，使用光刻胶图形做掩膜，在聚合物胶层中形成刻蚀窗口，以该聚合物胶层中的刻蚀窗口作为掩膜，对金属薄膜进行刻蚀，从而形成金属薄膜图形，由此，能够改善金属薄膜侧壁粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 薄膜 图形 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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