[发明专利]一种超高真空二维材料制备系统及制备方法在审
| 申请号： | 202210365951.3 | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN114655922A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 田悦;李净;张宇;马诚杰;沈敏敏;王城程 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 杭州衡峰知识产权代理事务所(普通合伙) 33426 | 代理人： | 陈修伟 |
| 地址： | 314001 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超高真空二维材料制备系统及制备方法，旨在解决现有的用机械剥离法制备二维材料的方式一般都在大气环境下进行，大气下的氧气很容易将二维材料氧化，进而改变所制备的二维材料的性质，无法获得准确二维材料观测和检测数据的问题，超高真空二维材料制备系统包括系统支架，所述系统支架上通过固定架安装有超高真空腔体，超高真空腔体的内腔中设有用于二维材料样品在超高真空环境下制备的二维材料操作机构，且超高真空腔体上设有：真空腔门；长焦显微镜；真空泵组，用于对超高真空腔体的内腔抽真空；真空计；观察窗；样品架传样杆；样品抓手传样杆。本发明尤其适用于二维材料的精细制备，具有较高的社会使用价值和应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 二维 材料 制备 系统 方法 | ||
【主权项】：
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