[发明专利]管外等离子体化学气相沉积制备光纤预制棒的装置和方法在审
| 申请号： | 202210367066.9 | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN114436521A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 康志文 | 申请（专利权）人： | 武汉友美科自动化有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 武汉维盾知识产权代理事务所(普通合伙) 42244 | 代理人： | 彭永念 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市江夏区大桥*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及光纤预制棒技术领域，具体涉及管外等离子体化学气相沉积制备光纤预制棒的装置，它包括射频电源，射频电源通过射频电缆与射频匹配器连接，射频匹配器的输出端连接射频线圈；它还包括气体注入装置和与气体注入装置连通的反应石英管，射频线圈位于反应石英管外部，并与反应石英管同轴布置。本发明采用感应耦合等离子体作为热源，等离子体焰炬温度高，能量密度高，原料利用效率得到提高，沉积速率得到提高，可生产大直径光纤预制棒；本发明还提供了管外感应耦合等离子体化学气相沉积制备光纤预制棒的方法，通过本发明的方法生产，掺F后生产的光纤预制棒的折射率较高，相对于PCVD工艺可以生产大直径的光纤预制棒。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 化学 沉积 制备 光纤 预制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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