[发明专利]一种透明钙钛矿薄膜晶体管在审

专利信息
申请号: 202210376487.8 申请日: 2022-04-12
公开(公告)号: CN114709332A 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 胡袁源;夏江南;仇鑫灿 申请(专利权)人: 湖南大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/10
代理公司: 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 代理人: 李明;赵吉阳
地址: 410082 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种透明钙钛矿薄膜晶体管,其包括透明衬底、源电极、漏电极、栅电极、插入层、半导体层,铁电介电层;所述插入层为透明金属氧化物,置于源、漏电极与半导体层之间;铁电介电层位于栅电极与半导体层之间;所述半导体层为透明钙钛矿薄膜。通过在源、漏电极与透明钙钛矿薄膜间插入一层金属氧化物薄膜作为电子注入层以降低电子注入势垒,提升电子注入效率;同时采用铁电材料作为介电层以抑制透明钙钛矿薄膜的离子迁移引起的栅电压屏蔽效应;在此基础上制备的透明钙钛矿薄膜晶体管能在室温下工作,且稳定性佳。
搜索关键词: 一种 透明 钙钛矿 薄膜晶体管
【主权项】:
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