[发明专利]一种叶片式Z轴MEMS加速度计在审
| 申请号： | 202210378577.0 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN114966111A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 苏岩 | 申请（专利权）人： | 苏州感测通信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种叶片式Z轴MEMS加速度计，由硅衬底和硅帽相接构成空腔，硅衬底和硅帽上各设有检测电极。特别地，该空腔中设有锚点、支撑框架及两组以上具有不对称质量的叶片式质量块，每组质量块通过位于中间的弹性梁连接并围绕锚点等距分布在支撑框架上，且绕锚点旋转对称；在沿锚点轴向所在Z轴输入加速度下，该质量块绕弹性梁所在、支撑框架的支臂发生XY平面外旋转运动，检测电极与质量块构成检测加速度的两组以上差分电容。应用本发明该MEMS加速度计，通过将质量块设计成相对锚点旋转对称的叶片式结构，将封装应力误差得以最大化地差分抵销，可以大幅提高Z轴MEMS加速度计的温度特性，具有更高的抗误差干扰能力及其它MEMS相关器件的普适性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 叶片 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
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