[发明专利]等离子体损伤检测结构及检测方法在审
| 申请号： | 202210380584.4 | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN116936538A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 吕赵鸿;黄新宇;章纬;邢勇军;杨波 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66;G11C29/00;G11C29/50 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开涉及一种等离子体损伤检测结构及等离子体损伤检测方法，该检测结构包括并联于第一位线和第二位线之间的第一驱动单元和第二驱动单元，第一驱动单元包括第一晶体管和第二晶体管，第二晶体管具有控制端、第一端和第二端，第二晶体管的控制端与天线连接。本公开的检测结构检测过程较为简便，且检测效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 损伤 检测 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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