[发明专利]精密转台误差测量装置在审
| 申请号： | 202210381695.7 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN116929408A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王国名;王博;程智;石俊凯;崔成君;董登峰;朱志忠;周维虎;梅东滨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 苑晨超 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种精密转台误差测量装置，包括：两个复合靶标，用于分别设置在待测转台的两个旋转轴上；每个所述复合靶标能对第一波长激光进行镜面反射和对第二波长激光进行角锥反射器反射；两个测量组件，用于分别对应两个复合靶标设置；所述测量组件能向对应的复合靶标发射具有第一波长激光和第二波长激光的测量光束，接收对应复合靶标反射的第一波长激光并标定对应旋转轴的角度，接收对应复合靶标反射的第二波长激光并标定对应旋转轴的位移。本发明提供的精密转台误差测量装置，采用双站基准，由两个测量组件搭建垂直度和相交度测量基准，能够实现待测二维转台垂直度和相交度误差的一站式高精度检测，解决垂直度和相交度分离测量时过程误差不可控难题。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 转台 误差 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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