[发明专利]集成光学耦合开关在审
| 申请号： | 202210383343.5 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN116931336A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 林正晃 | 申请（专利权）人： | 深圳市中光工业技术研究院 |
| 主分类号： | G02F1/313 | 分类号： | G02F1/313 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请公开了一种集成光学耦合开关，包括两个平行的光波导、两静电吸引的电极和绝缘层。电极包括设置在硅表面与所述光波导相避开的下电极，和设置于所述光波导的上方以微机电的架构形成的上电极，上电极达到预设的电压值时被吸引至与所述光波导表面接触；绝缘层设置于下电极的表面，用于在所述上电极被吸引至与所述光波导表面接触且不与所述下电极直接接触产生短路。如此，下电极和上电极不存在相接触造成电路短路的问题，进而确保集成光学耦合开关工作时性能的稳定性，提高集成光学耦合开关的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 光学 耦合 开关 | ||
【主权项】：
暂无信息
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