[发明专利]一种基于光学干涉的光学薄膜反射率测量系统及测量方法在审
| 申请号： | 202210385650.7 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN114813048A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 李成;万震;刘洋 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/55 |
| 代理公司： | 北京方政卫士专利代理事务所(普通合伙) 16080 | 代理人： | 黄鑫 |
| 地址： | 100191 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于光学干涉的光学薄膜反射率测量系统，包括：光纤端面反射率测试子系统，通过改变两个光纤端面之间的腔长距离，采集多组干涉光谱并计算对应腔长；基于双光束干涉公式拟合多组干涉光谱并解算光纤端面的实测反射率；将实测反射率与光谱仪直接测得的光纤端面标准反射率对比，通过多项式拟合获得反射率补偿系数‑腔长的关系式；石墨烯薄膜反射率测试子系统，通过改变对准的单模光纤与光学薄膜之间的距离，采集多组干涉光谱，基于双光束干涉公式拟合干涉光谱，从而解算光学薄膜的实测反射率；及修正子系统，基于反射率补偿系数的表达式对光学薄膜的实测反射率进行修正，获得光学薄膜的修正反射率。还公开了对应的测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光学 干涉 光学薄膜 反射率 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京航空航天大学，未经北京航空航天大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210385650.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
