[发明专利]一种丙硅烷的制备方法在审
申请号: | 202210386212.2 | 申请日: | 2022-04-13 |
公开(公告)号: | CN116947051A | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 闫晓军;陈刚军;周明星;贾辉 | 申请(专利权)人: | 烟台万华电子材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/04 | 分类号: | C01B33/04;B01J21/18;B01J35/10 |
代理公司: | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人: | 姜婷;陈悦军 |
地址: | 264006 山东省烟台市经济技*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: |
本发明提供了一种丙硅烷的制备方法,包含以下步骤:(1)将多孔碳材料置于耐压容器中,在抽真空条件下对耐压容器进行加热,冷却至室温后继续维持抽真空条件;(2)将耐压容器的温度降低至‑160~‑50℃后,并在该温度下将低阶硅烷以0.2L/min~0.8L/min的流速通入至耐压容器中,静置30~120min;(3)将耐压容器中的温度升至室温,静置后收集挥发出的丙硅烷;其中,多孔碳材料的比表面积≥500m |
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搜索关键词: | 一种 硅烷 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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