[发明专利]一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件及单片式清洗机有效
| 申请号： | 202210386712.6 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114453324B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 顾雪平;时新宇 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 储振 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件及单片式清洗机，包括：喷液管，同轴套设于喷液管的气流管，喷液管底端设置抵持气流管的旋流器，旋流器同轴内嵌分液器；分液器沿环形凹设若干用于均匀分散喷液管内液体的导液槽，旋流器沿环形凹设若干用于引导气流管内气体旋向排出的离心气槽，离心气槽形成气体出口处并面向导液槽内设供液体流通的导向流道，以引导气体将液体破碎为均匀且更小的呈雾化状的液滴。通过申请实现了对药液的破碎效果好，以提升药液对晶圆的清洗效果，提高晶圆清洗的洁净程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单片 式晶圆 清洗 喷嘴 组件 | ||
【主权项】：
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