[发明专利]一种检测键合偏移量的结构和方法在审
| 申请号： | 202210392496.6 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114739294A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 龚跃武;陈婷;官盛果;杨山清;涂良成 | 申请（专利权）人： | 中山大学南昌研究院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380 | 代理人： | 刘丹 |
| 地址： | 330096 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种检测键合偏移量的结构，包括：上盖晶圆片，所述上盖晶圆片的中央形成有上预留区域；下盖晶圆片，所述下盖晶圆片的中央形成有与所述上预留区域相对设置的下预留区域，所述下预留区域上形成有刻度尺；所述上盖晶圆片键合在所述下盖晶圆片上。本发明通过在上盖晶圆片上提前制备一个“窗口”，在下盖晶圆片的相应位置上形成一个“刻度尺”，上盖晶圆片与下盖晶圆片键合完成之后对上盖晶圆片进行打磨，将“窗口”漏出，在显微镜下即能够测出键合偏的移量。与现有技术相比，本发明简化流程，低成本精准测量键合偏移量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 偏移 结构 方法 | ||
【主权项】：
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