[发明专利]一种超高真空极低温纳米材料制备及表征设备有效
| 申请号： | 202210396230.9 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114813735B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 张宇;马诚杰;沈敏敏;王城程 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N1/28;G01N1/44;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 杭州衡峰知识产权代理事务所(普通合伙) 33426 | 代理人： | 陈修伟 |
| 地址： | 314001 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超高真空极低温纳米材料制备及表征设备，旨在解决目前的纳米材料测量装置仅能实现单一技术手段的测量，且无法提供极低温环境，同时纳米材料的制备后在大气环境下转移也存在诸多影响因素的问题，包括作为安装基体的支撑装置，还包括有：电控箱，用于设备内电气元件集成控制；互联通道，用于设备集成至工作站以将制备出纳米材料传输至下一工序进行原位测量；所述支撑装置的顶端设有依次连接的快速进样装置、样品制备装置、样品测量装置。本发明尤其适用于超高真空极低温环境下纳米材料的系统性制备和表征，具有较高的社会使用价值和应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 低温 纳米 材料 制备 表征 设备 | ||
【主权项】：
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