[发明专利]一种PSD标定装置及基于该装置的参数标定方法有效
| 申请号： | 202210399587.2 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114739292B | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 邱启帆;董登峰;周维虎;程智;张佳;张刘港 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学;海宁集成电路与先进制造研究院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人： | 李晓辉 |
| 地址： | 210007 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开提供一种PSD芯片参数标定装置，包括：激光器驱动电路、激光器、二维精密平台、稳固平台、伺服驱动装置、数据处理电路。本公开还提供一种PSD非线性畸变标定方法，包括：设置一定边长的网格，同时，令PSD机体坐标系零点作为二维精密平台移动的原点，网格覆盖PSD芯片；获取PSD坐标真值，包括：通过伺服驱动装置控制二维精密平台以边长为步长进行运动进而带动PSD芯片以边长为步长进行运动，使得激光照射至PSD芯片在网格的各个顶点，基于步长记录PSD在网格的各个顶点的坐标真值；获取PSD坐标读数；基于PSD坐标真值和PSD坐标读数，建立PSD芯片在网格各个顶点坐标误差模型；以及对误差模型通过插值方法进行畸变补偿。本公开还提供了一种PSD机体坐标系标定方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 psd 标定 装置 基于 参数 方法 | ||
【主权项】：
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