[发明专利]一种用于RPD的靶材、透明导电薄膜及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202210402600.5 | 申请日： | 2022-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN114807870A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 陈明飞;刘永成;郭梓旋;莫国仁;徐胜利;陈明高;王志杰;江长久 | 申请（专利权）人： | 长沙壹纳光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/08;H01L31/02;C04B35/01;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 马俊 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于RPD的靶材、透明导电薄膜及其制备方法与应用，该靶材由基体和分散在所述基体中的硅元素组成；所述基体由以下质量分数的制备原料组成：三氧化二铟93％～98.5％、二氧化铈1％～6％和二氧化锡0.1％～2％；所述靶材中硅元素的质量浓度为5ppm～200ppm。本发明的靶材在连续镀膜过程下，不会造成裂纹、破裂或者喷溅的产生其结果，可连续稳定地获得低的电阻率和高的红外光透射率的晶质的透明导电膜；同时在铈元素的基础上添加了锡元素，获得的靶材具有更好的导电特性，提升了太阳能电池的转化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 rpd 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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