[发明专利]一种碲锌镉晶片制备的除杂方法在审

专利信息
申请号: 202210402989.3 申请日: 2022-04-18
公开(公告)号: CN114775060A 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 邓波浪;刘士军;李玉萍 申请(专利权)人: 安徽承禹半导体材料科技有限公司
主分类号: C30B29/48 分类号: C30B29/48;C30B27/00
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 张立娟
地址: 233000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及一种碲锌镉晶片制备的除杂方法,包括如下步骤:对制备所需的碲锌镉三种原料分别进行酸洗,再用流动的纯水冲洗,最后再进行烘干待用;对制备所需的石英管进行酸洗,再用流动的纯水冲洗,最后再进行烘干待用;将碲锌镉三种原料依次装入经过处理的石英管内,并充入保护气后封闭石英管,随后将石英管放置到温度范围为500‑1000℃的摇摆炉中进行合成反应,制备得到单晶晶棒;在无尘和高于大气压环境中将得到的单晶晶棒经切片、腐蚀、抛光和清洗处理。本发明实施例的碲锌镉晶片制备的除杂方法过程简单,能充分降低碲锌镉晶片制备时的含杂量,有利于保证制备得到的碲锌镉晶片的纯度。
搜索关键词: 一种 碲锌镉 晶片 制备 方法
【主权项】:
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