[发明专利]一种激光波长测量系统、激光波长计算方法及计算系统在审

专利信息
申请号: 202210406141.8 申请日: 2022-04-18
公开(公告)号: CN114485964A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 黄建军;金镖;廉哲;刘皓寒 申请(专利权)人: 苏州联讯仪器有限公司
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02
代理公司: 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 代理人: 赵燕燕
地址: 215129 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种激光波长测量系统、激光波长计算方法及计算系统,属于光干涉测试技术领域。该激光波长测量系统包括:分光装置,用于将待测激光分成呈预设角度布置且分光比为50:50的反射光束和透射光束,所述反射光束和所述透射光束均为平行光束;薄型斐索干涉腔、第一柱面镜和第一线列探测器,依次设置于所述反射光束的下游且均与所述反射光束垂直;厚型斐索干涉腔、第二柱面镜和第二线列探测器,依次设置于所述透射光束的下游且均与所述透射光束垂直,所述薄型斐索干涉腔的厚度小于所述厚型斐索干涉腔的厚度。本发明的激光波长测量系统、激光波长计算方法及计算系统能够兼顾激光波长的测量速度和精度。
搜索关键词: 一种 激光 波长 测量 系统 计算方法 计算
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