[发明专利]一种光探测器、光探测器的制备方法及其响应度调控方法

摘要

本发明公开一种光探测器、光探测器的制备方法及其响应度调控方法，涉及光探测器技术领域，以解决光探测器的响应度不具有非易失性的问题。所述光探测器包括：衬底。形成在衬底上的功能层。形成在功能层上的两个电极。形成在功能层位于两个电极之间的部位上的透光保护层。以及形成在透光保护层内的GST相变层。所述光探测器的制备方法包括上述技术方案所提的光探测器。本发明提供的光探测器的制备方法用于制备光探测器。