[发明专利]一种氮化镓基太赫兹探测器阵列单元、探测器及制备方法在审
| 申请号： | 202210426643.7 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN115032169A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 李凯;刘志宏;宁静;冯时;徐美;周瑾;冯欣;游淑珍;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学广州研究院;西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581;H01L27/146 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 510000 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氮化镓基太赫兹探测器阵列单元、探测器及制备方法，阵列单元包括：太赫兹天线、检波单元和功率放大器。检波单元包括至少一个第一晶体管，功率放大器包括至少一个第二晶体管，至少一个第一晶体管和至少一个第二晶体管均采用氮化镓基高电子迁移率晶体管且集成在同一预制片上；太赫兹天线与至少一个所述第一晶体管中的检波单元输入端连接，至少一个所述第一晶体管中的检波单元输出端与至少一个所述第二晶体管中的功率放大器输入端连接。该阵列单元检波单元的晶体管与功率放大器的晶体管集成于同一衬底上，能够有效提高探测器像元一致性与集成度，减少封装和工艺加工成本，提高整个探测器阵列单元的高温工作能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 镓基太 赫兹 探测器 阵列 单元 制备 方法 | ||
【主权项】：
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