[发明专利]光学特性建模方法及装置、光学参数测量方法在审
| 申请号： | 202210429471.9 | 申请日： | 2022-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN114963996A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张晓雷;张厚道;梁洪涛;施耀明 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01N21/31 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201702 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学特性建模方法及装置、光学参数测量方法，所述光学特性建模方法，包括：获取周期性介质的特性参数，并基于所述特性参数和严格耦合波分析法构建第一耦合波方程组；所述周期性介质关于光束入射平面对称；获取电场的两个正交分量或磁场的两个正交分量的线性组合，并基于所述第一耦合波方程组和所述电场的两个正交分量或所述磁场的两个正交分量的线性组合构建第二耦合波方程组；根据所述周期性介质的对称性简化所述第二耦合波方程组；求解简化后的所述第二耦合波方程组，得到理论光谱。本发明提高了光学建模的效率，以得到理论光谱。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 特性 建模 方法 装置 参数 测量方法 | ||
【主权项】：
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