[发明专利]一种立式晶体生长炉下炉盖锁紧机构在审
| 申请号： | 202210434525.0 | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN114672875A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏;徐文立;胡建宇;施佳伟 | 申请（专利权）人： | 宁波恒普真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 孙玲 |
| 地址： | 315300 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种立式晶体生长炉下炉盖锁紧机构，涉及锁紧机构技术领域，包括设置于框架上的锁紧组件和驱动系统，所述锁紧组件包括联动块、安装座、连杆座和驱动结构；所述安装座用于与所述框架或炉体相连接，所述驱动结构设置于所述安装座一端，所述连杆座设置于所述安装座另一端，所述联动块与所述连杆座活动连接，所述驱动结构与所述联动块传动连接，所述驱动系统与所述驱动结构动力连接。1.通过简单的机构实现了下炉盖的自动锁紧，避免了人工操作的繁琐费时及可能造成的风险。2.通过在驱动系统中设计增加冗余保护系统，实现了在驱动力缺失、断电、管路破损、驱动换向阀损坏的情况下对炉盖的自锁功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 晶体生长 炉下炉盖锁紧 机构 | ||
【主权项】：
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