[发明专利]一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉有效
| 申请号： | 202210438710.7 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114775045B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 伍三忠;徐俊;王慧勇;刘欣然;盛飞龙 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/36 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈椅行 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于外延生长技术领域，特别涉及一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉，其中，外延炉的阀门隔热装置包括：法兰，用于连接外延炉的反应室和外延炉的传输阀，法兰上设有用于进行衬底上下料的传输口；装置还包括：隔热挡板，活动安装在法兰靠近反应室的一侧；驱动机构，安装在法兰上，且与隔热挡板连接，用于根据反应室的运行状态驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输口；该装置能根据反应室的运行状态利用驱动机构驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输阀与反应室之间的法兰上的传输口，从而减少了传输阀的温升，有效避免了传输阀的阀板因高温而损耗使用寿命，并有效减少反应室内高温对传输室内温度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 阀门 隔热 装置 | ||
【主权项】：
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