[发明专利]图案形成方法及固化性组合物的制造方法在审
| 申请号： | 202210442088.7 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN115469508A | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 岩井武;昆野健理;青山洋平;森莉纱子 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;焦成美 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及图案形成方法及固化性组合物的制造方法。图案形成方法，其包括下述工序：使用含有金属氧化物纳米粒子的固化性组合物，在基板上形成固化性膜的工序；将具有线与间隔图案的模具按压于固化性膜，从而在固化性膜上转印线与间隔图案的工序；在将模具按压于固化性膜的同时，使转印有线与间隔图案的固化性膜进行固化，从而形成固化膜的工序；以及，将模具从固化膜剥离，从而在基板上形成线与间隔图案的工序，形成于基板上的线与间隔图案的基部的线宽度x、与金属氧化物纳米粒子的体积平均一次粒径φ满足：0.03xφ0.08x，x≤500nm。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 固化 组合 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京应化工业株式会社，未经东京应化工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210442088.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种立式电池盒夹具
- 下一篇：图像投影装置、存储介质和图像投影方法
