[发明专利]掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置有效
| 申请号： | 202210446397.1 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114815519B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 侯广杰;黄执祥;谢超 | 申请（专利权）人： | 深圳市龙图光罩股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/62;G03F1/48;B65B69/00 |
| 代理公司： | 广东普润知识产权代理有限公司 44804 | 代理人： | 寇闯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区新桥街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于掩模保护领域，尤其涉及一种掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置，其中，掩模护膜包括支撑框以及保护膜，所述支撑框呈环形并具有在中心轴线延伸方向相对设置的抵靠面以及装膜面，所述抵靠面以及装膜面均呈环形，所述抵靠面分为均呈环形的粘接平面以及导流斜面，所述粘接平面开设有多个吸胶孔，所述支撑框开设有与各所述吸胶孔连通的排气通道，所述排气通道于外环面开设有一个排气孔。将掩模护膜从掩模版移除之后，掩模版上不会残留有粘胶。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模护膜 掩模护膜移 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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