[发明专利]一种基于酚醛树脂的图形反转光刻胶组合物及使用方法在审
| 申请号： | 202210447259.5 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114995056A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 王凯;严翔;薛钰铸 | 申请（专利权）人： | 江苏长进微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/16;G03F7/32;G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 苏玲 |
| 地址： | 214434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于酚醛树脂的图形反转光刻胶组合物及使用方法，图形反转光刻胶组合物，按质量百分数计，包括以下组分：光敏剂0～5％，酚醛类树脂30％～60％，交联剂0～10％，流平剂0～1％，敏化剂0～1％，增粘剂0～1％，溶剂30％～70％。本发明的基于酚醛树脂的图形反转光刻胶组合物可形成“倒梯形”的胶层剖面，有利于金属剥离，且具有高分辨率、高灵敏度、高对比度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 酚醛树脂 图形 反转 光刻 组合 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏长进微电子材料有限公司，未经江苏长进微电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210447259.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
