[发明专利]一种涡流传感器在审
| 申请号： | 202210447738.7 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114705115A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 李坤;张康;李婷;张为强;尹影;田知玲;张杰 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 林韵英 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涡流传感器，控制模块触发波形生成模块产生使线圈模块谐振的正弦波形，线圈模块谐振生成电流信号；信号传输模块基于电流信号得到采样电压信号，信号传输模块对采样电压信号进行处理后发送至控制模块；控制模块根据接收处理后的采样电压信号，计算晶圆表面导电膜厚度值；线圈模块内部包括多个不同测量截面的线圈，在被测晶圆抛光过程中，对于抛光过程的每个阶段，将对应的测量截面的线圈切换至检测回路中，从而实现针对不同的测量过程进行时间分割，每个过程精确匹配电涡流传感器的最佳线性、分辨率参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涡流 传感器 | ||
【主权项】：
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