[发明专利]用于飞秒激光加工增透微纳结构的加工头的光路系统及调试方法有效
| 申请号： | 202210450367.8 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114951971B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 李明;谭羽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/067;B23K26/046;B23K26/70 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 徐秦中 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明的目的是解决现有利用激光加工技术加工增透微群孔结构时难以兼顾加工精度、质量和效率的问题，而提供了一种用于飞秒激光加工增透微纳结构的加工头的光路系统及调试方法。本发明采用分光镜、双面楔形镜、环形反射镜等光学元件将入射激光分成两束或多束，并利用衍射光学元件DOE及可变功率衰减片对分束后光束进行匀化和功率调整，实现了高一致性两束或多数束平顶光输出，将提升增透微纳结构制造一致性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 加工 增透微纳 结构 工头 系统 调试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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