[发明专利]基于荧光追踪样点的材料表层去除原位测量装置及方法在审

专利信息
申请号: 202210452637.9 申请日: 2022-04-27
公开(公告)号: CN114894113A 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 王兵;刘浩;刘战强;蔡玉奎;宋清华;赵金富 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: G01B11/16 分类号: G01B11/16;G01N21/64
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 闫伟姣
地址: 250061 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本公开公开的基于荧光追踪样点的材料表层去除原位测量装置及方法,包括设置有第一进光口、紫外光进光口和出光口的壳体,第一进光口与显微镜头连接,出光口与摄像机连接,紫外光进光口与紫外光源连接,在紫外光进光口处设置紫外透过滤波片,在出光口处设置荧光带通滤波片,在壳体内设置二向色镜,紫外光源发出的紫外光能够经过紫外透过滤波片后经二向色镜反射进入第一进光口并经显微镜头照射出,显微镜头进入的光线能够经二向色镜和荧光带通滤波片后进入摄像机。实现了待加工工件加工过程中变形区域的全域场量测量。
搜索关键词: 基于 荧光 追踪 材料 表层 去除 原位 测量 装置 方法
【主权项】:
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