[发明专利]铁靶、铁镍合金靶及其制造方法在审
| 申请号： | 202210453122.0 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114934261A | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 余飞;邵郑伟;黄宇彬;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C19/03;C22C1/02;H01F41/18 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李琼芳 |
| 地址： | 511518 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于靶材制造技术领域，具体公开了高纯铁靶、铁镍合金靶及其制造方法。铁靶坯的制造方法包括以下步骤：在坩埚中加入铁；将加入铁的坩埚在真空感应炉中熔炼，得到熔液；熔液经浇铸后得到铸锭；铸锭经压力加工、热处理后，制成靶坯。铁合金靶坯的制造方法包括以下步骤：在坩埚中加入原料，各原料根据密度或熔点从低到高依次从坩埚的底部向坩埚的上部分布；将加入原料的坩埚在真空感应炉中熔炼，得到熔液；熔液经浇铸后得到铸锭；铸锭经压力加工、热处理后，制成靶坯。本发明得到的靶坯内部无孔洞，外部无裂纹，组织均匀，纯度高。本发明提供的靶材制造方法工艺简单、周期短、能耗可控，易于工业化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 铁靶 镍合金 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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