[发明专利]一种基于压电陶瓷驱动的紧凑高稳定性移相扫描装置在审
| 申请号： | 202210456446.X | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN115046636A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 田飞飞;胡炳樑;李思远;王鹏冲;郝雄波;白清兰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/06 | 分类号： | G01J3/06;H02N2/04;H02N2/06 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 赵逸宸 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于压电陶瓷驱动的紧凑高稳定性移相扫描装置，主要解决现有技术中存在的移相扫描装置的结构不够紧凑或稳定性不高的问题。该装置包括：压电陶瓷驱动器组件、柔性支撑导向机构和反射镜组件；柔性支撑导向机构包括：机构框架、位移放大单元、位移导向单元和反射镜组件安装件；反射镜组件安装件沿前后方向竖直设置在机构框架内，反射镜组件安装件的左端面与反射镜组件连接，右端面与位移放大单元的输出端连接；压电陶瓷驱动器组件沿前后方向安装于位移放大单元内部，位移放大单元用于将压电陶瓷驱动器组件沿前后方向输出的直线位移放大并转换为左右方向的位移，进而驱动反射镜组件移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 压电 陶瓷 驱动 紧凑 稳定性 扫描 装置 | ||
【主权项】：
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