[发明专利]一种CMP设备中集流盘的加工工艺方法在审
| 申请号： | 202210460277.7 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN115255810A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 郭忠华;王超 | 申请（专利权）人： | 三河建华高科有限责任公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京精翰专利代理有限公司 11921 | 代理人： | 刘晓晖 |
| 地址： | 065202 河北省廊坊市三河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种CMP设备中集流盘的加工工艺方法，包括工装花盘和工件，所述的工装花盘的上端设有工艺环台，所述的加工工艺方法步骤如下：工件采用SUS630沉淀硬化型不锈钢毛坯料；锻造毛坯；粗车零件外圆及端面，进行固溶处理；半精车外圆及工艺环槽，加工中心钻各孔，螺纹底孔及铣各处凹槽，进行油煮定性处理，进行时效硬化处理，粗磨盘厚两面，精车各环槽及凹槽；精磨盘厚两面,研磨A基准面,采用以上结构后，本发明具有如下优点：从毛坯的选择、工艺路线的制定、工装的设计、热处理工艺及参数的制定，加工设备及刀具的选择，最后通过设计专用车削夹具，最终取得了很好的效果，保证加工的零件经检验达到图纸要求的各项形位的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cmp 设备 中集 加工 工艺 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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