[发明专利]一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种PERC‑铜锌锡硫叠层太阳能电池及其制备方法；电池包括底层电池、顶层电池、设于底层电池与顶层电池间的连接层以及设于顶层电池上的过渡层、窗口层和顶层电极；顶层电池为铜锌锡硫；连接层为超薄氧化硅层与MoSxOy层形成的隧穿层。制备：S1、对P型硅片清洗，制绒；S2、正面扩散形成磷硅玻璃层，背面碱抛；S4、正面氧化形成超薄氧化硅层；S5、背面沉积第二钝化层和第一钝化层；S6、制备底层电极；S7、采用磁控溅射，在超薄氧化硅层沉积MoSxOy层，形成连接层；S8、磁控溅射，在连接层上沉积铜锌锡硫，形成顶层电池；S9、采用磁控溅射，依次在顶层电池上沉积过渡层和窗口层；S10、最后在窗口层上印刷电极浆料，升温烧结，得到该叠层太阳能电池。