[发明专利]硬质涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202210468664.5 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114959696B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陈娜;孙世棚;石敏艺 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 崔彤彤 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及涂层领域，具体而言，涉及一种硬质涂层及其制备方法和应用。硬质涂层包括层叠设置的第一非晶金属氧化物层、第二非晶金属氧化物层和非晶合金层，第一非晶金属氧化物层位于最外层；第一非晶金属氧化物层的元素组成包括Ti、Zr、Nb、Si和O，第二非晶金属氧化物层的元素组成包括第一过渡金属、第一稀有金属、B和O，第一稀有金属为Ta和/或Nb，第一过渡金属为Co或Fe，非晶合金层的元素组成包括第二过渡金属、第二稀有金属和B，第二稀有金属为Ta和/或Nb，第二过渡金属为Co和/或Fe。本发明提供的硬质涂层具有优异的硬度、耐磨性和生物相容性。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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