[发明专利]基于磁场协同超声脉冲对玻璃孔的加工方法、系统及应用在审
| 申请号： | 202210468673.4 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114702246A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 陈云;李彪;温官海;刘祚辉;赖声宝;陈新 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;B23K26/382;B23K26/402 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 何慧敏;单蕴倩 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 基于磁场协同超声脉冲对玻璃孔的加工方法、系统及应用，加工方法包括：在玻璃晶圆上产生预设小孔；开启蚀刻仪器上的超声功能，将配置好的蚀刻液倒入蚀刻仪器的蚀刻槽中预热；蚀刻仪器上的磁场方向垂直于玻璃预设小孔方向，同时磁场方向与直流电场方向垂直，磁场方向又与超声方向垂直；玻璃晶圆放入装有蚀刻液的蚀刻槽中，使直流电源的平行电极板间产生直流电场，通过调控磁场的大小，利用蚀刻液蚀刻玻璃晶圆的预设小孔，蚀刻预设小孔至需要的直径；对玻璃晶圆进行清洗并干燥。系统，用于实现上述的加工方法；本方案能效地解决了现有技术中使用激光诱导深刻蚀加超声辅助蚀刻玻璃通孔的方法所形成的玻璃通孔的精度不高、粗糙和不一致的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 磁场 协同 超声 脉冲 玻璃 加工 方法 系统 应用 | ||
【主权项】：
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