[发明专利]料盘输送装置有效
| 申请号： | 202210475988.1 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114772246B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 林宜龙;刘飞;水清;杨世才 | 申请（专利权）人： | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74;B65G51/03 |
| 代理公司： | 深圳高智量知识产权代理有限公司 44851 | 代理人： | 姚启迪 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种料盘输送装置，包括料盘移载机构，所述料盘移载机构包括第一移载板、第一移载驱动组件、第二移载板、悬臂以及气浮组件，所述第一移载驱动组件安装在所述第一移载板上，所述第二移载板的一端安装在所述第一移载驱动组件上，所述第一移载驱动组件用于驱动所述第二移载板沿第一水平方向运动；所述气浮组件安装在所述第二移载板的另一端且位于所述第二移载板朝向所述第一移载板的一侧，所述气浮组件可向所述第一移载板所在的方向喷出气体；所述悬臂安装在所述第二移载板上并向背向所述第一移载板的方向延伸，所述悬臂可用于承载料盘。该料盘输送装置可消除悬臂因自身重力带来的形变及不稳定性，料盘在移载过程中更加的稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
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