[发明专利]光纤点探针和具有光纤点探针的距离测量系统在审
| 申请号： | 202210486483.5 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN115327556A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | M·默施多夫 | 申请（专利权）人： | 卡尔·马尔控股有限公司 |
| 主分类号： | G01S17/08 | 分类号： | G01S17/08;G01S7/481 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘书航;周学斌 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于距离测量系统的光纤点探针。光纤点探针具有可以连接到光源的光纤，以及评估设备。光源的照明光经由光纤传输到射束形成元件并转换成射束形成照明光。射束形成照明光沿第一光轴被引导至偏转元件的平坦表面并通过反射被偏转。在平坦表面上反射的射束形成照明光沿第二光轴传播，在偏转元件的球形端面上出射并形成聚焦区域在偏转元件外部的聚焦照明射束。能够探测布置在聚焦区域中的对象表面，使得以无接触方式确定相对于探针内部参考表面的距离测量值，其中参考表面被配置用于照明光或参考光形式的射束形成照明光的部分背反射。距离测量值表征球形端面和对象表面之间的距离d。球形端面的曲率中心与第一光轴和第二光轴的交点相同。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 探针 具有 距离 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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