[发明专利]一种光栅位移测量装置

摘要

本发明涉及光学检测技术领域，尤其是指一种光栅位移测量装置，包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和所述读数头之间能够发生相对运动；所述读数头包括外壳，所述外壳的中部设置有柱透镜，所述柱透镜的后侧设置有光电二极管，在所述光电二极管的周围设置有两个以上的光源。通过设置两个以上的光源，光电二极管将每个光源的信号进行比对之后，再将最终的信号输出，提高测量精度高；此外，当光栅尺上因为污渍、刮痕、拼接间隙造成的某一光源的信号丢失时，其他的光源的信号仍然有效，可以保证光栅位移测量装置正常工作，延长整个光栅位移测量装置的使用寿命。