[发明专利]一种降低单晶硅等径生产过程断线率的热场在审
申请号: | 202210492609.X | 申请日: | 2022-05-07 |
公开(公告)号: | CN114934313A | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 徐志群;汪奇;孙彬;马腾飞;马伟萍 | 申请(专利权)人: | 广东高景太阳能科技有限公司;青海高景太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/14;C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜丽 |
地址: | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种降低单晶硅等径生产过程断线率的热场,其中,保温固毡环设在保温中筒的外周,顶部保温部连接在保温中筒的顶部和保温中筒的顶部;顶部保温部开设有第一通道和第二通道,热屏在第一通道中上下运动,带动固毡保温板在第二通道中上下运动;保温中筒的周壁开设有第二通孔,保温固毡的周壁开设有与第二通孔同轴的第三通孔,保温固毡的周壁开设有容纳腔,第三通孔连通容纳腔,固毡保温板向下运动容纳在容纳腔中封闭第三通孔。该热场在拉晶过程中可增加保温性,可降低等径过程中的拉晶功耗和气流紊乱,降低炉外加料热场的等径断线率,减少单晶硅生产成本,解决现有技术中炉外加料后拉晶功率上升与拉晶气流紊乱导致等径断线的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 降低 单晶硅 生产过程 断线 | ||
【主权项】:
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