[发明专利]一种基于反对称光栅的单片集成气体检测装置

摘要

本发明公开了一种基于反对称光栅的单片集成气体检测装置，包括集成制作在外延片上的有源区、无源区和探测器；有源区、无源区和探测器依次对接成型，且无源区为单路或双路结构，有源区的数量为1个，并与无源区对接，探测器的数量与无源区的路数相同，并与无源区对接；有源区和探测器的能带结构一致，无源区能带的带隙大小与有源区不同。本装置采用单片集成气体检测芯片，光源仅需用宽谱光源，通过无源区滤波实现对波长的准确控制，无源区物理过程对比起有源区相对简单，波长更加容易控制，因此本发明降低了对激光器的制作工艺、封装工艺的相关成本，从而降低TDLAS方法的成本，扩大应用范围。