[发明专利]一种高储能特性的钛酸铋钠-锆钛酸钡电介质薄膜及其制备方法与应用有效

专利信息
申请号: 202210503618.4 申请日: 2022-05-09
公开(公告)号: CN114914087B 公开(公告)日: 2023-08-29
发明(设计)人: 翟继卫;钱进;沈波 申请(专利权)人: 同济大学
主分类号: H01G4/12 分类号: H01G4/12;H01G4/33
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 杨元焱
地址: 200092 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种高储能特性的钛酸铋钠‑锆钛酸钡电介质薄膜及其制备方法与应用,该电介质薄膜的化学组成为(1‑x)Bi0.5Na0.5TiO3‑xBa(Zr0.2Ti0.8)O3,其中x=0.3‑0.9;其制备方法为化学溶液法,首先按照化学计量比配置前驱体溶液,将溶液滴至Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上进行旋涂后,在快速退火炉中进行高温退火结晶,重复上述旋涂‑退火工艺,直至膜厚达到300‑400nm,并在薄膜上使用溅射工艺制备金属顶电极,制得薄膜电容器。与现有技术相比,本发明通过溶液法实现了钛酸铋钠‑锆钛酸钡电介质薄膜的制备,制备的薄膜电容器具有优异的储能性能,其储能密度为82J/cm‑3,储能效率为81%,同时具有优异的温度稳定性、抗疲劳特性。
搜索关键词: 一种 高储能 特性 钛酸铋钠 钛酸钡 电介质 薄膜 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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