[发明专利]一种石墨烯三维霍尔磁传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯三维霍尔磁传感器的制备方法。该方法通过原子层沉积、光刻、电子束蒸镀、等离子体刻蚀、高温退火与湿法腐蚀工艺相结合的方法实现石墨烯三维霍尔磁传感器的制备。其优点在于通过退火处理和ALD生长Al2O3保护层使得石墨烯材料保持高迁移率和低载流子浓度的状态，获得高灵敏度的磁传感性能，其电流霍尔灵敏度可达2000V/(A·T)；同时引入聚磁结构的设计，使面内磁场转化成垂直磁场，并增强磁场强度，进一步提升磁场探测灵敏度，其电流霍尔灵敏度可达5000V/(A·T)；通过四个霍尔传感单元的组合设计探测和后处理计算实现三维磁场探测。本发明基于石墨烯材料的高灵敏度三维磁传感传感器的制备具有极大的实际意义、研究价值和应用潜力。