[发明专利]一种基于外尔半导体的拓扑相变晶体管及制备方法在审
申请号: | 202210515489.0 | 申请日: | 2022-05-12 |
公开(公告)号: | CN115207132A | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 柴扬;陈杰威 | 申请(专利权)人: | 香港理工大学深圳研究院 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/06 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 庄敏芳;谢松 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山区粤海街道高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明公开了一种基于外尔半导体的拓扑相变晶体管及制备方法,晶体管包括:外尔半导体层;源极,设置于所述外尔半导体层;漏极,设置于所述外尔半导体层,与所述源极间隔设置;栅极,与所述外尔半导体层连接;其中,在所述栅极的静电调控下所述外尔半导体层拓扑相变,以使所述基于外尔半导体的拓扑相变晶体管呈开态或关态。本发明利用外尔半导体的贝利曲率和对应的陈数可调特性,实现了陈数为0的传统半导体和陈数为1的拓扑半金属间的拓扑相变。实现具低功耗和高性能的场效应晶体管。通过静电调控,实现了10 |
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搜索关键词: | 一种 基于 半导体 拓扑 相变 晶体管 制备 方法 | ||
【主权项】:
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