[发明专利]一种激光投影接近式MicroLED巨量转移转置、方法及系统在审
| 申请号： | 202210518692.3 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN114944442A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 黄永安;陈福荣 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/67;H01L27/15 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 尚威 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体相关技术领域，并公开了一种激光投影接近式巨量转移装置、成形方法及激光投影系统。该装置包括支撑层、动态释放层和粘性层，其中，所述支撑层为基底层，所述动态释放层设置在所述基底层上，所述粘性层设置在所述动态释放层上，用于与待转移MicroLED接触，当激光穿过所述支撑层照射在该动态释放层上时，该动态释放层发生烧蚀或者相变，从而鼓起并使得所述粘性层也产生鼓泡，从而减小与所述待转移MicroLED的接触，实现转移装与待转移MicroLED的剥离。通过本发明，解决MicroLED巨量转移的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 投影 接近 microled 巨量 转移 方法 系统 | ||
【主权项】：
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