[发明专利]一种制备图案化石墨炔薄膜的方法在审
申请号: | 202210519334.4 | 申请日: | 2022-05-12 |
公开(公告)号: | CN114914386A | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 向明;黄欣彤 | 申请(专利权)人: | 江汉大学 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;H01L51/44;H01L51/48 |
代理公司: | 武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001 | 代理人: | 陈晓宁;王敏锋 |
地址: | 430056 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种制备图案化石墨炔薄膜的方法,包括:方法1:在铜板基底上先制备出图案化的无机层,将需要石墨炔薄膜的区域暴露出来,将不需要石墨炔薄膜的区域用无机层覆盖,在没有无机层覆盖的区域生长出石墨炔薄膜;在获得的石墨炔层沉积或者涂布其他基底;利用化学溶液,将铜板基底溶解,从而将图案化的石墨炔层转移到其他基底上;或方法2:在任意基底上,先制备出图案化的铜层,只在有铜层的区域生长出石墨炔薄膜。本发明借助铜层作为生长石墨炔薄膜的催化剂,通过黄光工艺对铜层进行直接图案化的处理,或者在其表面覆盖图案化的无机层,使得生长出来的石墨炔薄膜本身就是图案化的,操作简单、容易实现。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 图案 化石 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
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