[发明专利]一种制备图案化石墨炔薄膜的方法在审

专利信息
申请号: 202210519334.4 申请日: 2022-05-12
公开(公告)号: CN114914386A 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: 向明;黄欣彤 申请(专利权)人: 江汉大学
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/52;H01L51/44;H01L51/48
代理公司: 武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001 代理人: 陈晓宁;王敏锋
地址: 430056 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种制备图案化石墨炔薄膜的方法,包括:方法1:在铜板基底上先制备出图案化的无机层,将需要石墨炔薄膜的区域暴露出来,将不需要石墨炔薄膜的区域用无机层覆盖,在没有无机层覆盖的区域生长出石墨炔薄膜;在获得的石墨炔层沉积或者涂布其他基底;利用化学溶液,将铜板基底溶解,从而将图案化的石墨炔层转移到其他基底上;或方法2:在任意基底上,先制备出图案化的铜层,只在有铜层的区域生长出石墨炔薄膜。本发明借助铜层作为生长石墨炔薄膜的催化剂,通过黄光工艺对铜层进行直接图案化的处理,或者在其表面覆盖图案化的无机层,使得生长出来的石墨炔薄膜本身就是图案化的,操作简单、容易实现。
搜索关键词: 一种 制备 图案 化石 薄膜 方法
【主权项】:
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